。熱電偶和電離計(jì)管設(shè)計(jì)用于滿足大多數(shù)真空應(yīng)用的嚴(yán)格要求，可替代Granville-Phillips、Perkin-Elmer和Varian型測(cè)量管。
當(dāng)壓電體快速充電（短脈沖）時(shí)，壓電陶瓷中的軸向壓縮應(yīng)力瞬間躍升到一個(gè)很大的值。建立阻塞壓力，導(dǎo)致高加速度和高應(yīng)變率。
調(diào)節(jié)控制單元可實(shí)現(xiàn)的輸出穩(wěn)定性和極低的輸出信號(hào)噪聲。信噪比的值很重要，因?yàn)樗鼪Q定了執(zhí)行器的總分辨率
熱式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理基于金氏定律（英文名稱：King's Law)。利用外部熱源對(duì)管道內(nèi)被測(cè)量的氣體進(jìn)行加熱，熱能隨著氣體一起流動(dòng)，通過測(cè)量管道內(nèi)因氣體流動(dòng)而產(chǎn)生的熱量變化
熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測(cè)量和控制準(zhǔn)確性的同時(shí)重新設(shè)定測(cè)量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。
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