①比Adixen標(biāo)準(zhǔn)系列泵運行更安靜 ②低工作溫度減少油蒸汽回流,同時提高極限真空
管理解決方案分子污染(計量和過程) 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測和管理解決方案,分子污染的新概念。
壓力安全閥 固有的故障安全保護(hù)系統(tǒng)確保無剩余壓力 動態(tài)自監(jiān)測
拆卸簡便的電磁線圈系統(tǒng) 不含LABS 帶制動裝置的標(biāo)準(zhǔn)手動應(yīng)急控制
自由交叉式切換,即便在供氣面積很小時也能保證切換功能 即便在電源故障時也能提供安全保障 (單穩(wěn)態(tài)設(shè)計) 帶制動裝置的手動應(yīng)急控制
電子開關(guān)由釹磁鐵觸發(fā),釹磁鐵是堅固的磁鐵合金。這種永磁體被封裝在對大多數(shù)物質(zhì)具有化學(xué)抗性的316不銹鋼外殼中。